二手 AIXTRON Crius 31x2" #9186422 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種外延沈積設備，設計用於生長高達31x2 （62）2英寸晶圓，可用於金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）或原子層沈積（ALD）。該系統裝有兩個獨立控制的反應堆，允許兩種不同材料同時生長。AIXTRON Crius 31x2的腔室容積為1.1立方米，真空泵在5-450°C的溫度範圍內降至0.0025毫巴，最大壓力低至1毫巴。它還包括一個先進的晶片處理單元，晶片到晶片和反應堆內部的轉移，在批量轉移期間既滿足處理要求，也滿足汙染要求。晶圓處理機兼容各種晶圓尺寸，以及小片晶圓低至100 µm。AIXTRON Crius 31x2工具專為工藝靈活性而設計，對任一反應堆的壓力、溫度、時間、反應物氣體和蒸汽供應進行獨立控制。壓力保持在0.1毫巴精度，壓力範圍為0.1至100毫巴，氣流控制在0.001 sccm精度。AIXTRON Crius 31x2還配備了先進的機械臂進行樣品處理。臂可以在反應堆之間移動晶片，也可用於從基板肘部裝卸晶片，或從卡帶或船載機裝卸。機械臂可以將基板移動到進氣歧管或卡盤傳遞點，也可以在反應堆內提供多個晶圓傳遞的靈活性。為每個反應堆提供排氣閥，允許用戶利用不同的排氣資產要求。AIXTRON Crius 31x2是一款用途極為廣泛的型號,能夠為各種應用程序配置文件提供最高質量的外延層。任一反應堆的壓力、溫度、時間、反應物氣體和蒸汽供應的獨立控制，結合先進的機械臂和晶圓處理設備，使這種外延沈積系統成為先進設備生產的理想選擇。