二手 AIXTRON Tricent #9202043 待售

AIXTRON Tricent是一種軍用級、高性能的半導體外延反應器和介電沈積工具。它為高頻HEMT（高電子遷移率晶體管）和其他高級顯示應用如OLED和LED產生外延層。Tricent專為密集的中大規模工業運營而設計。它具有較高的吞吐量沈積速率，在批次之間提供了可靠的過程重復性。AIXTRON Tricent由一個內部爐組成，通常使用Rafoxide或APCVD（大氣壓化學氣相沈積）技術。一個附加的感光器碗提供了在一系列基材上的電介質沈積。它配備了自動化的負載鎖以盡量減少人工幹預，封閉式的熱墻設計以盡量減少環境汙染，以及水平安裝的雙臂機器人界面以最大限度地提高吞吐量。Tricent的設計采用電源和等離子體源,可以定制離子通量並實現超清潔、超純的沈積環境。這使得它成為產生具有挑戰性的結構和需要低總電離劑量（TID）的裝置的合適工具。如前所述，AIXTRON Tricent能夠產生一些可供半導體工業使用的最高沈積速率。其廣泛的沈積工藝為客戶提供了高長寬比結構和復雜蝕刻的選項，如線寬、側壁方向和摻雜輪廓。Tricent的操作員界面為監控和控制流程提供了一系列用戶友好的功能。此外，該系統還具備多用途控制功能，能夠精確編程工藝參數並監控原位膜組成和層性能。一般而言，AIXTRON Tricent是一種高效、可靠的生產工具，適用於從事先進半導體器件制造的企業。其先進的技術和能力，加上直截了當的操作，使Tricent成為最高效率和提高產量的理想選擇。