二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600 #185058 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600是專門為各行業先進技術應用而設計的濺射系統。它能夠根據所需的規格將薄膜沈積在諸如矽、砷化氙和玻璃等基板上。AMAT ATON 1600具有高能隨機的離子束，這些離子束穿透目標材料，將其原子擊落，然後成為蒸氣，然後冷凝到基板上。這種被稱為離子濺射技術的工藝提供了比傳統濺射技術更好的均勻性和密度，能夠沈積和蝕刻。該系統配有三個源陰極，每個源陰極最大可容納1.6KW。它具有多目標濺射源，以優化腔室利用率。它的附加均勻性通過其數字平頂電子控制得到增強。它擁有強大的300 KW電源和狹窄的脈寬調制，提供了很高的工藝屈服。轉化為低能離子，它能夠根據不同的加工需求，用反應性氣體濺射蝕刻。APPLIED MATERIALS ATON 1600還提供了36英寸的加工室。其機械設計能夠提取具有強真空條件的沈積材料。這使得它能夠通過提高泵送速度實現更高的沈積速率和提高工藝產量。它還具有一組標準傳感器和控件，允許用戶實時監控過程。一套易於使用的軟件包促進了它的高級自動化。此軟件套件與各種數據系統兼容,並實現了完整的流程控制。它可以主動監控和調節工藝參數，包括功率、壓力、流量、溫度等。總體而言,ATON 1600是為當今先進技術應用而設計的可靠且優質的濺射系統。它能夠為各行業的發展生產廣泛的材料，使其成為需要卓越的統一性、高工藝穩定性、提高吞吐量和工藝產量的專業人士的首選。