二手 ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1 #9063447 待售

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ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1
已售出
ID: 9063447
晶圓大小: 4"
優質的: 1996
Chrome deposition system, 4" Installed in a cleanroom 1996 vintage.
ANATECH HUMMER 8.1濺射設備設計用於塗層沈積和樣品濺射制備應用。這個最先進的系統具有自動化的現場計量單元,允許精確的濺射控制和並發分析。TECHNICS HUMMER 8.1是一種高真空、多源濺射機,具有鎖載室,能夠在大基板區域上低壓4 x 10-7帕斯卡和高度濺射均勻性。ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1的主要成分是濺射源。這是一種高電流、可旋轉的等離子體源,能夠沈積多種金屬和合金。濺射源有兩個截然不同的部分,可以精確控制濺射占空比、氣流和壓力以及溫度。獨特的設計允許對每個截面進行獨立的濺射控制。這個濺射源配備了等離子體視圖III面板,提供準確可靠的等離子體監測數據。ANATECH HUMMER 8.1的自動化工具由控制器模塊中的分布式計算機資產驅動,為控制濺射模型的所有功能提供了一個全面而靈活的平臺。自動化設備包括易於使用的模擬控制和數字讀數的控制面板。它還具有一個載荷鎖定系統,能夠快速地將基板載入腔室和精確的濺射沈積。此外,TECHNICS HUMMER 8.1具有獨特的原位計量單元,可進行精確的濺射控制和並發分析。這臺機器已經配備了多種分析工具,包括殘留氣體分析儀、俄歇電子光譜和Ar-ion銑削。還包括兩個光學端口,進一步允許在濺射過程中監測基板。ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1的設計考慮到安全性。它配有緊急關閉系統和水冷磁鐵,以防萬一。此外,這種濺射工具設計為在超高真空環境中以可靠的性能和較低的維護成本運行。總之,ANATECH HUMMER 8.1是一種先進的濺射資產,能夠為各種金屬和合金提供精確可靠的濺射沈積。它具有高度靈活的自動化模型、現場計量設備和安全關閉系統。其先進的設計允許精確的濺射控制、分析和均勻沈積在較大的基板上。
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