二手 ANATECH / TECHNICS RF-2C #9100809 待售

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ANATECH / TECHNICS RF-2C
已售出
ID: 9100809
晶圓大小: 4"
Sputtering system, 4".
ANATECH/TECHNICS RF-2C是一種用於工業制造薄膜元件的濺射系統。它提供了沈積參數的精確控制,包括材料類型、厚度、組成百分比、紋理和表面形態。其專利雙頻電源使用射頻(RF)電源組件提供比傳統濺射系統所提供的更高的精度水平。這樣可以確保元件的層特性滿足嚴格的制造公差,並適用於先進的工業應用。ANATECH RF-2C具有全自動、微處理器控制的濺射室,可在真空中運行。其獨特的雙切口快門保護底物免受潛在的粒子轟擊,使每種材料沈積的沈積速率和均勻性得到單獨的控制。TECHNICS RF-2C還包括一個高分辨率、自動化的質量流量控制器,以實現更好的過程穩定性。RF-2C具有許多安全功能,如緊急關閉系統、減壓閥和安全參數實時監控。其控制器設計為在爆炸氣氛中承受操作,並經認證符合1級要求。ANATECH/TECHNICS RF-2C專為易於使用和最大的靈活性而設計。其用戶界面由全彩色觸摸屏面板組成,便於監控。控制器軟件是完全可定制的,允許用戶創建過程配方和存儲生產數據以供將來檢索。ANATECH RF-2C還通過以太網連接和直接電子郵件警報提供遠程操作。TECHNICS RF-2C能夠塗覆鋁、鉻、矽、鈦和鎳等材料。它可以用來蒸發各種來源的晶體,也具有濺射蝕刻材料的能力。RF-2C的設計旨在提供一種高效、準確和可靠的方式來制造具有超精細表面處理的元件和產品。
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