二手 ADE / KLA / TENCOR 350 / 351 #9027395 待售

ADE/KLA/TENCOR 350/351是為晶圓測試和計量應用而設計的晶圓測試和計量設備。它用於測量晶片的各種物理特征，如邊緣、摻雜水平、晶體結構、表面平坦度和厚度。該系統旨在為分析多種類型的晶片提供快速和準確的結果,這些晶片包括：翻轉芯片封裝、MEMS、SOI、LED芯片和GaAs。ADE 350/351的關鍵特性和能力包括掃描電子顯微鏡（SEM）、聚焦離子束（FIB）成像、熱ATR光譜等。它配有高分辨率成像系統，可對微觀部件和結構進行詳細觀察。SEM成像裝置的放大倍數為10倍至200000X倍,而高分辨率的FIB光學元件則可視化各種材料的精細結構和特征。熱ATR光譜法是一種高敏銳度技術，用於通過收集加熱樣品的排放物來測量摻雜物水平。KLA 350/351還提供先進的自動化軟件解決方案,用於晶圓的詳細分析和測量。它配備了各種用於晶圓檢測和計量的多維分析算法。這些算法可以測量特征大小、3 D曲面形態、邊緣集中度、高度分布等參數的數組。此外，該軟件還提供了比較多個數據集以分析和檢測晶圓中任何可能的缺陷和異常的能力。該機器能夠測量多種特性，精度為0.6納米。它具有很高的效率，吞吐量速度為每小時5個晶圓。此外,它的設計目的是在無噪音的環境中確保數據的準確性。在堅固的構造和重型構造下,無需任何附加保護即可在生產環境中部署。此外,它還為可靠的晶圓數據收集提供了一系列的完整性和可靠性功能。總之，350/351是晶圓測試和計量應用的理想選擇。其設計目的是為各類晶圓材料提供高精度的結果。它配備了復雜的軟件和多維分析算法，使其成為尋找晶圓結構和組成異常的理想選擇。它保證了每小時5個晶片的吞吐量，並保證了晶片的完整性及其堅固且無噪音的環境。