二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9105667 待售

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600是一款功能強大、用途廣泛的閉環無損晶片測試計量設備，提供平板顯示器和半導體晶片的詳細表面分析。該系統具有高分辨率光學顯微鏡、兩個激光散射儀、一個邊緣照明單元、一個非接觸式三維探針以及先進的數據采集、分析和處理能力。ADE UltraScan 9600使用先進的光學和照明技術提供優越的晶圓表面成像，如邊緣隔離、特征檢測和詳細的表面測量。激光散射儀可以測量和顯示前後向散射信息，從而能夠對表面地形、蝕刻深度和線寬進行高速、無損測量和分析。自動調整焦點的邊緣照明機提供了更高的對比度和改進的表面識別。非接觸式、三維探針用於測量和顯示晶圓厚度和曲率、表面粗糙度以及其他地形參數。該探測器還收集實時信息，以幫助評估過程的可變性。KLA ULTRA SCAN 9600高度自動化,可提供快速、可重復的晶圓測試和計量,並提高刀具分辨率和數據采集速度。每個晶圓最多可存儲2000組數據,從而可以進行詳盡的表面分析和故障排除。此外,該資產與各種數據存儲選項兼容,並且可以與其他ADE系統集成,以實現無縫端到端晶圓測試和計量解決方案。ADE ULTRA SCAN 9600是一種用於平板顯示器和半導體晶片的可靠高效晶片測試和計量模型，能夠進行詳細的表面分析和快速的工藝優化。