二手 ASM WS 896 #9170395 待售

ASM WS 896是為生產或研究用途而設計的晶圓步進器。它是一個完全集成的設備，結合了最先進的光學、運動控制、計算機控制和支持系統，用於各種半導體光刻應用。光學和照明是ASM的核心WS896它是一種最先進的投影光學系統,其數值孔徑（NA）為0.45,可在整個晶圓區域提供高分辨率和均勻的圖像。照明是通過LED陣列和光學元件提供的,配置為在晶片上均勻曝光。運動控制WS 896具有全方位的運動控制選項，包括：晶圓的步進和掃描；晶圓堆叠能力，允許多次曝光而無需重新定位；晶圓漂移穩定，提高精度；以及其他增強功能,例如基於列的伺服控制和無摩擦XYZ階段。有了這些先進的運動控制選項，WS896就能準確高效地暴露出小批量生產中的晶片以及大型研究項目。Computer Control ASM WS 896與業界最先進的計算機控制系統完全集成，允許簡單高效的編程和設置。計算機控制單元運行著廣泛的軟件包，從簡單的制作指令到高級曝光配方。它還可以運行CAD和CAM程序,與數字光刻軟件集成,以實現簡化的設計和生產效率。支持系統ASM WS896還具有多種支持系統,包括一臺全面的手動和自動晶圓測試機器。這一支持工具包括：接觸監測功能，以監測每次接觸的完整性；驗證功能以確保曝光的準確性；以及保持光學設備清潔和無塵的清潔資產。總之，WS 896是一種非常先進、完全集成的晶圓步進模型，非常適合生產和研究使用。憑借其最先進的光學和運動控制、先進的計算機控制系統以及全面的支持系統,WS896為任何半導體光刻應用提供了可靠而高效的解決方案。