二手 ASM WS 896 #9060206 待售

ASM WS 896是一種高端晶片步進器，專為低批量和大批量生產半導體晶片的制造商而設計。ASM WS896能夠將晶片的直徑提高到8英寸,並且可以在單個工藝周期內容納多達600個晶片。它采用了最先進的光學和電機技術,可實現同類步進器中最高的曝光精度。WS 896配備了兩個基於高精度檢流計的掃描級，由一個專用的多處理器設備控制。這提供了對整個晶片的掃描操作的並行處理,從而在最大晶片吞吐量速度下實現一致的結果。檢流計設計為提供高精度的掃描性能和穩定性，而多處理器系統則提升了單元的響應性和準確性。步進器還配備了創新的自動聚焦機構，允許晶片和光學器件之間精確對準。它的低放大倍率光學也有助於保持高精度，即使晶圓包含不同厚度的特征。步進器還配有一個集成的空氣軸承級機器，確保快速和準確的步進和重復性能，最小的漂移。除了光學和電機外，WS896還配備了先進的運動控制工具，可以精確控制光學和掃描階段的運動。其超低延遲和最小波紋特性使其成為高速運行的理想選擇。最後，步進器配備了自動跟蹤和校正能力，確保了最高的精度和可重復性。總體而言，ASM WS 896是大批量生產半導體晶片的理想晶片步進器。其高精度的光學、電機和運動控制系統使其成為在高速和通路下實現準確和可重復結果的理想選擇。