二手 ASM WS 896 #9176106 待售

ASM WS 896是一種光學步進器，允許為光刻目的精確定位晶片。它具有290mm的掃描面積和最高均勻度的高縫合精度和速度，以及內置視覺系統和自動晶片裝卸。這使得它非常適合半導體制造工藝的發展。ASM WS896使用直驅式電動直線軸系統和穩定照明裝置,在以10,000毫米/秒的最大掃描速度運行時,能夠保持卓越的精度和穩定性。其抗振設計具有3 µm ±的優越定位重復性，非常適合淺層溝槽隔離和雙圖案處理。WS 896具有內置視覺系統和自動晶片加載/卸載功能,可確保更大的吞吐量。舞臺上的自動模式識別支持單模式和雙模式操作的靈活對齊。電動變焦鏡頭可將放大倍數從6倍調整到60倍,以獲得最佳分辨率和對焦效果。此外，WS896還支持各種曝光工具，從一般的UV到DUV。由於具有眾多的曝光選項和高度的靈活性,應用程序包括用於大格式的光刻和蝕刻,以及簡單的蒙版和對齊層。ASM WS 896掃描直徑從4英寸到12英寸不等的一系列晶片,並且可以在單個系統中支持多達8層晶片。最後，它極低的故障率使得它非常適合可靠的長期操作。