二手 ASML 300 #9047521 待售
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已售出
ID: 9047521
DUV Stepper, 6"
Lens under N2 purge
Front end
Options:
SECS
REFL Image sensor
Arms
Pep 1 / Pep 2: Productivity upgrade
Reticle error compensation
Flatness model
LSQ Disto model
Mark sensor
Batch streaming
(2) Intensities
Focus monitoring
Aerial
IRIS
Flexible signal tower
Extended NA range
Focal adjustment
Extended exposure
TIS
Athena
Fast TTL alignment
Automated DOE exchanger
Phase modulator FTTL
Phase modulator OA
Alignment reports
Annular illumination
Athena allow high orders
Scribelane marks
(3) Library configurations
Visual alignment camera
1998 vintage.
ASML 300是用於制造半導體產品的晶圓步進器。它是一種光刻工具，能夠精確控制用於在芯片上創建晶體管和其他組件的圖樣。300是雙級柱掃描儀，表示晶圓在曝光時在x和y軸中移動。該級由高速直流電動機驅動，能夠以納米級精度和可重復性控制級。掃描儀還包含幾個光學元件，如光學元件、透鏡和分束器，用於成形和成形光，以便投射到晶圓上。設備高度集成和靈活，允許操縱和控制光和基板。ASML 300是一個快速發展的系統,采用最新的曝光技術.它包含運動控制器、電機驅動器、微秒脈沖發生器和智能視覺單元等先進功能,可通過自校準技術分析曝光情況。該機器還利用各種探測器來確保精度，包括線緣檢測工具、用於區域檢查的顯微鏡和用於詳細表面評估的在線視覺檢查資產。300在光刻領域設定了準確性和可重復性的行業標準。憑借其雙級掃描機構、納米級精度和自動自校準模型，這種晶片步進器是生產高性能晶體管等組件的可靠高效方式，用於最新的微芯片。它是現代半導體制造的理想選擇。
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