二手 ASML AT 1150iS Twinscan #9197839 待售

ASML AT 1150iS Twinscan是一種晶圓步進器,為各種單模和多模應用提供全面的光刻處理。它旨在滿足半導體制造行業最苛刻的要求,提供最高的精度和準確性,同時最大限度地降低總擁有成本。步進器具有兩鏡光路，最大分辨率可達12微米。這有助於確保可重復的過程結果和一致的產量,並提高每小時多達180個晶圓的吞吐量。AT 1150iS專為高端光刻要求而設計,曝光水平低於每秒12納焦耳。此外，它還具有高達52 x 80毫米的擴展場大小，允許處理範圍廣泛的晶圓大小。AT 1150iS配備了集成的舞臺和步進運動控制器，在廣泛的工作條件下提供卓越的精度和精確度。嵌入式控制軟件可以根據應用的需要進行定制，提供靈活的自適應操作。步進器還提供了真空泵和傳感器的集成系統，以確保準確和可重復處理的適當環境。此外,AT 1150iS Twinscan還采用了ASML專利RealScan™技術,被授予「最佳頻譜」,以表彰其卓越的業績。它采用主動光束校正和光束定心的能力，這對於卓越的分辨率和可重復的結果是必不可少的。為了確保最大正常運行時間,ASML AT 1150iS Twinscan提供了一系列高級功能,旨在在異常影響生產之前檢測和解決異常。使用嵌入式粒子監視器顯示出對細節的註意,以便立即檢測故障,並使用HealScan監視來確保對準的準確性。總體而言,AT 1150iS Twinscan是要求苛刻的光刻應用的理想解決方案,可提供最快的速度和準確性,以最大限度地提高效率和產量。ASML AT 1150iS Twinscan的用戶憑借其靈活的功能和強大的操作能力,能夠有信心獲得卓越的工藝性能和效果。