二手 ASML AT-850 #9198430 待售

ASML AT-850晶片步進器是一種自動化的計算機控制晶片加工機，用於半導體制造過程。它的工作原理是用紫外線激光掃描光掩模，然後將圖樣傳輸到晶圓上。該設備配備了兩個不同的曝光源和全場抖動掃描策略，用於高分辨率圖樣。這樣可以實現精確的形狀、線寬和距離控制,並實現高吞吐量。該設備配備了兩個光刻源，即i-Line和ArF準分子激光器，可分別用於繪制135海裏和193海裏的特征圖樣。這兩種激光器均受波長和相幹性控制，這意味著它們可以精確地繪制高分辨率復雜形狀的圖案。該系統還具有多種算法，可根據作業要求使用，優化吞吐量和流程窗口。晶圓通過一個機器人處理單元和SCARA機器人被運送到掩模對準器，這兩者都是高度精確和可編程的。舞臺可以被編程來處理一系列晶圓，大小從200到400毫米不等。晶片一旦到位，就可以精確地傾斜到掩模上，掩模有一個可以調整的視場，以符合工作要求。晶圓步進器還配備了多種探測器，用於監控和控制曝光過程。這包括幹涉儀、用於測量圖樣晶片輪廓的檢測器，以及可以高倍掃描整個晶片的掃描電子顯微鏡。這樣可以確保模式具有最高的質量和保真度。任何在平版印刷過程中需要改變的參數，都可以使用車載控制器，即工業級自動化PC進行精確快速的調整。這允許用戶輕松編程或修改曝光設置和曝光時間。最後，ASML AT 850晶圓步進器也是高能效的，降低了過程對環境的影響。有些型號還內置了能量回收機，這有助於回收原本在暴露過程中損失的能量。