二手 ASML AT-850D #9197016 待售

ASML AT-850D晶片步進器是用於集成半導體電路制造過程中的一種高度精確的光學對準設備。它配備了5軸同時定位系統，能夠納米精確對準。其尺寸為：19.7英尺（6m），寬度：9.3英尺（2.8m），高度：9.7英尺（3m）。ASML AT850D是一個高度先進的單元,它為晶圓對齊提供了卓越的功能。它具有高度靈敏的線性編碼器，精確的編碼器刻度精度為± 1nm，保證了極好的精度和可重復性。這些進步允許進行毫秒的舞臺運動。該機的交鑰匙控制工具可以全面防止外部振動造成的變形。AT 850D設計有一個自動檢查資產，可以檢測，分析和保持精確的晶圓對齊。它總共有一個6頭對準模型，每個模型都能夠檢測給定晶圓上多達25個標記。該設備由一個強大的過程控制系統控制，該系統由多個伺服和運動控制模塊以及先進的軟件組成。晶片步進器可以容納廣泛的對準步驟，並包括一個智能晶片索引單元，允許每次曝光多個晶片對準。全功能機器處理幾乎任何對齊模式具有很高的精確度。它使用復雜的計算和圖像處理算法以及先進的光學器件來確保精確的晶圓定位。該機還配備了先進的高精度晶圓對準顯微鏡。該顯微鏡為客戶提供了晶圓粘結區的優越視野。它可以在5微米誤差範圍內提供高達8 μ m的精度，並且可以解決1納米尺寸的特征。該工具采用高度優化的光學資產設計,可提供低失真光學。此外，特殊的照明模型產生了均勻的高強度光源，消除了熱點，減少了電路失真。總體而言,ASML AT 850D晶片步進器是一種高度精確的設備,具有廣泛的功能,旨在為晶片制造提供卓越的精度。它配備了最新的技術，以確保在制造過程中晶片完美對準的最大精度和可重復性。