二手 ASML PAS 5500 / 100D #9203101 待售

ASML PAS 5500/ 100D是由先進半導體制造公司ASML開發的世界領先的晶圓步進器。它是一種緊湊的、帶有空氣的精密定位設備，用於將圖樣精確傳輸到稱為晶圓的圓形板上。ASML PAS 5500/100D由三個主要組件組成：主結構、lambda軸和模式生成器。主體結構由一個由精密電機驅動的X-Y級組成，在所有三個運動軸上實現納米級的穩定性。Lambda-axis is a rotary stage that is abable to rotating the wafer and approve a array of different formats as round, rectangular, and square upplacement in the application.模式發生器包括高性能激光元件，當暴露於透射激光時在晶圓上產生模式。模式發生器還包括一個先進的光學系統，以提供所需的分辨率低至300 nm。PAS 5500/100 D還具有強大的閉環運動控制單元,可實現高精度對準和定位。該控制機器利用編碼器、反饋工具以及視覺/圖像處理資產和激光幹涉測量等各種接口元件進行精確的晶圓傳輸。該機的設計還采用了空氣軸承模型來最小化振動，確保平臺穩定。ASML PAS 5500/100 D還配備了先進的環境控制設備。該系統允許精確的溫度和濕度控制，以維持晶圓參數，避免熱或濕度造成任何損害。整個單元被封閉在防塵容器中，以確保無塵環境。最後,PAS 5500/100D還具有易於操作的用戶友好界面。這包括一個交互式圖形用戶界面（GUI）,允許用戶自定義適合其特定應用程序的設置和參數。該機器還具有診斷軟件，可用於分析機器操作和檢測任何錯誤或故障。總之,PAS 5500/ 100D是一種可靠、精密的晶圓步進器,旨在滿足當今半導體制造業最嚴格的要求。它提供高效、精確的晶片陣列,具有高吞吐量和廣泛的功能,包括強大的運動控制機、先進的光學工具、精確的環境控制資產和用戶友好的界面。