二手 ASML PAS 5500 #9196425 待售

ASML PAS 5500是一種晶圓步進器，旨在支持光刻過程中的高級層、標線和掩碼。這臺機器能夠對功能層進行維修和校正，從而顯著改善晶圓性能。PAS 5500的最大分辨率為4 nm,最大掃描面積為463 mm x 513mm。它還具有降低的振動水平和增強的曝光可重復性，這意味著層可以在多個晶片上均勻曝光。ASML PAS 5500還能夠精確對準,可重復性為1 nm。該機的設計還以安全為重點，具有幾個安全特性，如其氣鎖室、激光互鎖、安全門等。這確保了技術人員和操作員在操作過程中的最小接觸。它的可編程PAS 5500控制系統旨在最大限度地減少設置時間、控制曝光級別並減少錯誤,從而使用戶獲得一致的性能。ASML PAS 5500還配備了強大的冷卻功能、高效的物料輸送、出色的光束輪廓以及快速的關閉系統，以最大限度地提高操作性能。這種優化的操作還為客戶提供了出色的模式保真度。它能夠利用各種光源，其最大晶圓溫度導致失真減少。為確保其使用壽命,PAS 5500配備了堅固的機械框架和金屬激光焊接蓋,以提高可靠性。ASML PAS 5500具有7.5 kW的功率要求,可在不犧牲性能的情況下支持大型多晶圓曝光。總的來說,PAS 5500是一個可靠和強大的晶圓步進設計精密光刻.與其他常規系統相比,它旨在最大限度地提高精度、縮短周期時間並提供更好的結果。