二手 ADE / KLA / TENCOR 575 #9132534 待售

ADE/KLA/TENCOR 575是一種高性能晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓的檢查和控制。該系統能夠測量直徑不超過5.75英寸的半導體晶片的電氣、光學和物理特性。ADE 575單元包括一臺先進的光學檢測機，使用電荷耦合器件（CCD）掃描晶圓表面。CCD傳感器可準確檢查晶片的頂部和底部表面,檢測形狀和尺寸以及其他特征（如缺陷）。光學工具也用於測量晶圓的反射率和橫向孔徑。KLA 575資產包括測量電阻、電流泄漏、電容和電壓擊穿等電氣特性的電氣測試站。該測試站還提供快速、自動化的好壞模具分選。該模型集成了一個電氣探測站，可用於電流和電阻測試的單個模具的探測。575設備還包括一個計量站，用於測量關口長度、溝槽深度和隔離距離等關鍵尺寸。高精度激光幹涉測量法用於測量精確的3-D形狀。此外，TENCOR 575系統包括一個獨特的「研究集」特征，它允許進行復雜的過程研究。這一特性使得晶片批次的完整表征與程序代碼的相關性以及系統因素的精確分析成為可能。此功能還通過高級數據分析功能支持數據審查和分析。ADE/KLA/TENCOR 575單元還提供了用於控制、測試排序和數據分析的全套軟件。此軟件的設計便於操作和與其他串聯流程集成。軟件還確保自動存儲所有收集的數據並隨時可供查看。總體而言，ADE 575是一款高性能晶圓測試和計量機，專為高級工藝控制和監控而設計。該工具允許靈活和精確地測量半導體晶片的電氣、光學和物理特性。此外,還通過高級軟件和數據分析功能提供數據審查和分析,以確保高效可靠的操作。