二手 ADE / KLA / TENCOR 6033T #9194726 待售

ADE/KLA/TENCOR 6033T是一種綜合性晶圓測試和計量設備,能夠對晶圓進行全面的電氣、光學和尺寸測量。該系統利用軟件和硬件的結合技術，為晶圓的無損檢測提供先進的解決方案。ADE 6033T單元是在等離子體裸晶片步進器（PBWS）平臺的基礎上構建的，該平臺是為加工晶片而設計的自動化設備。本機提供晶圓映射、電氣缺陷分析、光學缺陷檢測、尺寸計量等各種先進功能。它可以探測和測量到納米尺度的微小特征。KLA 6033T配備了多個段,包括用於晶圓放置的步進掃描儀/處理程序、負載端口工具和自動晶圓識別資產。步進器啟動晶片的掃描過程,按照軟件的指示,隨時將其物理放置在計量表上。負載端口模型負責將晶片從其存儲區傳輸到探針表並返回。最後,自動晶片識別設備可以快速處理晶片的傳入分發盒式磁帶（DCs）,從而實現快速高效的工作流程。TENCOR 6033T還包括兩個光學顯微鏡單元，放大倍率從20倍到1000倍不等，能夠成像~納米分辨率的缺陷。此外，系統還包括各種能夠快速評估載波移動性、介電常數、開路短路測試、電阻、個體模具電容等電性能的自動化測試站。為了進行分析控制,該單元采用了一系列SoftGUIDES,這是一個軟件平臺,具有強大的高級功能,如自動模具/分區選擇、跟蹤的軌道跳躍測量以及可視化和放置的攝像頭。6033T晶片測試和計量機作為一個完整的封裝，對各種尺寸的晶片進行全面的電氣、光學和尺寸測量。它對晶圓表面的通孔、溝槽、顛簸、通孔和其他元素進行高效掃描，並以納米精度進行掃描，其自動化測試站為驗證重要的電氣參數提供了最佳解決方案。該工具能夠為高可靠性設備的生產提供快速、準確的結果。