二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9176508 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測試半導體晶圓的缺陷和其他特性。該系統采用光學、電氣和激光技術的先進組合來測量廣泛的特征，包括晶圓表面地形、均勻性和臨界尺寸。它由大型機、光學、光源和計算機控制器組成。光學元件包括透鏡、鏡子、掃描單元、探測器單元和電動POS級。主機還包括激光、顯微鏡、掃描儀和激光電源。機器能夠通過光學顯微鏡過程檢測晶片上的微觀缺陷。利用光學成像技術對晶片表面進行檢測。CCD相機用於捕獲晶片的圖像，然後由內置圖像處理器進行處理和分析。該工具能夠通過內置電子束感應元件（EBICs）測試晶片的電性能。這些EBIC用於分析晶片材料的電導率，測量器件的閾值電壓和增益等特性。它還能夠高精度地測量晶片表面的功率特性。此外，資產還支持廣泛的計量能力。這些功能包括選擇性區域光刻、自動特征識別、沈積厚度測量和叠加對齊。它還能夠通過晶體模式識別和差分圖像分析的算法來測量晶片的晶體結構。大型機還包括用於可靠和自動測量關鍵尺寸以及用於數據收集、分析、存儲和處理的軟件工具。ADE 9500是一種高度可靠和精確的晶圓測試和計量模型。它為監測半導體晶片的性能和質量保證提供了有效的解決方案。它具有先進的特點，可以為晶圓的制造和設計提供準確可靠的結果。