二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9181679 待售

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ADE / KLA / TENCOR 9500
已售出
ID: 9181679
Wafer flatness measuring system Single cassette with ASC controller.
ADE/KLA/TENCOR 9500是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在方便生產高性能集成電路、MEMS和其他先進技術設備。該系統結合了先進技術和易於使用的圖形用戶界面。ADE 9500的尖端光學計量單元以前所未有的0.1納米分辨率測量集成電路和MEMS器件的臨界尺寸(CD)。該機利用共聚焦顯微鏡和散射法精確檢測到納米級的特征大小和形狀。該工具還提供了一整套用於缺陷和故障分析的高級成像工具,例如線剖析、叠加測量和對比度增強。KLA 9500強大的測量資產能夠提供復合電氣測量,如電容、電阻和泄漏電流。該模型還為晶圓的表征和優化提供了快速、精確的晶圓映射和平坦度測量。9500的集成熱控制確保了準確的測量不受溫度變化的影響。TENCOR 9500的缺陷和故障分析設備為缺陷和故障分析提供了直觀的工作流程。該系統可以精確檢測微粒、地形特征以及小至1納米的外來汙染物。該設備還可以快速對受汙染的晶片成像,以快速識別處理錯誤的IC或MEMS結構。最後,ADE/KLA/TENCOR 9500的無與倫比的易用性和全面的分析和測量工具集使其成為研究和生產晶圓測試和計量的寶貴工具。其直觀的用戶界面和全面的教程和演示集有助於最大限度地減少學習曲線並最大限度地提高工作效率。ADE 9500對任何半導體制造商來說都是非常有價值的。
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