二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9186108 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500是著名的晶圓測試和計量設備,旨在提供準確可靠的晶圓表征和計量數據。該系統引入了全面的平面晶圓測量，並輔之以先進的表面計量能力。該單元由一個主掃描單元和幾個與之相連的附加單元組成。主要單元是一個掃描單元,其中包括一個精密的電動級,它使晶片在傳感器之間移動,而Z級則根據晶片的幾何形狀修改電子束機器的焦點。光學單元使用戶能夠以各種放大倍數獲取圖像。主掃描單元也有測量晶片平面表面的電容傳感器。這些傳感器靈敏度高、精度高。此外,該工具還具有其他幾個增強其功能的組件。橢圓偏光計測量折射率或消光系數等不同的光學特性。自動晶圓映射資產用於掃描wAFM（原子力顯微鏡），以便獲得對表面的詳細地形概述。模型的內置軟件提供了直觀易用的圖形用戶界面來訪問設備的軟件。該軟件提供強大的數據處理功能來執行參數測量和分析。軟件可以生成各種類型的報告，從統計數據到圖形演示。該系統可以從任何PC運行,使用Windows操作單元,從而提供靈活性。ADE 9500機極為精密多用途。其施工選擇確保了快速、方便的測量和準確的結果。其廣泛的能力和精確度使得它成為任何需要先進計量的實驗室的絕佳選擇。使用這種工具，操作員可以很容易地表征任何類型的晶圓表面具有卓越的精度和精確度。