二手 ADE / KLA / TENCOR 9700 #9184638 待售

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ADE / KLA / TENCOR 9700
已售出
ID: 9184638
Ultrascan wafer inspection system Dual cassette loader Controller: ASC-2000.
ADE/KLA/TENCOR 9700是一種高速多通道晶圓測試和計量設備。它提供了多種測試晶圓幾何和曲面特征的功能。ADE 9700能夠對晶片進行快速的在線測量,並包含各種光學、電氣和機械子系統來完成這些測試。KLA 9700系統的核心是其強大而通用的功率和計量電子設備。它包括一臺高功率輸出發電機,最多可同時提供三個電源,每個通道最多可提供250W個電源。另外還集成了高增益12位A/D轉換器,帶寬高達300 MHz。它與8位D/A轉換器和Peltier冷卻單元結合使用。有了這個設備,機器可以作為一個獨立的測試站,也可以與外部設備接口,來執行更高級的機器人任務。TENCOR 9700還包括一個高度精確的納米步進工具,用於x、y和z軸運動的精確控制。它的4軸納米步進資產利用線性電動機,這允許更快的響應時間和更高的精度。這使得模型能夠以微米級分辨率精確測量晶片的幾何特征。9700設備還配備了自動光學顯微鏡。這個800萬像素的相機能夠檢測晶圓表面的特征,精度高達0.5微米。它可以用於表面測量和地形分析,並能夠快速的表面特征檢查。此外,ADE/KLA/TENCOR 9700還包括一套集成的軟件模塊,可以進行全面的測量和分析。軟件允許系統以無與倫比的精度測量平坦度、粗糙度、深度和電阻率。它還提供實時反饋,使用戶能夠及時做出決策。它還能夠分析參數化圖像,包括地形、彩色圖像、FD-LIBS光譜和原子力顯微圖。ADE 9700是用於晶圓測試和計量的強大而高效的單元。它的高速和多渠道功能,加上一系列創新和精確的模塊,能夠快速精確地測量晶圓幾何形狀和表面特征。
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