二手 ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9182330 待售

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ID: 9182330
Wafer measurement system Includes: ASC Controller Dual autoloader.
ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520晶圓測試和計量設備是半導體器件制造和測試的一流解決方案。它具有一整套高級計量功能,允許用戶在制造過程中準確測量和監控其基材和晶片的質量。ADE UltraGage 9520提供同類系統中最高的分辨率和可重復性。KLA UltraGage 9520利用3 D激光幹涉測量法實時測量每晶圓多達10,000個特性。該單元能夠在整個晶圓上以± 5 µm的晶圓定位精度進行非接觸表面掃描。測量數據被捕獲並存儲在數據庫中,使用戶能夠分析結果並根據需要調整其流程,以確保高質量的結果。TENCOR UltraGage 9520還能夠並行控制多個過程以優化測試過程。例如,它可以配置為精確控制過程的壓力和溫度,並且可以檢測和調整均勻性、厚度、晶圓邊緣對準等特定特征的參數。該機包括用戶可定義的測試協議、自校準,並且可以測量廣泛的基材,包括晶體和非晶體矽、氮化​​氙和碳化矽。此外,UltraGage 9520還配備了多種先進的光學組件,包括部分晶圓成像工具,可實現更高分辨率的測量和更準確地確定基板缺陷。該資產還包括一個高速USB光學接口,每秒可傳輸高達10兆位的數據。此功能顯著減少了查看測量和調整處理參數所需的時間。ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520提供世界級的準確性和可重復性,使制造商能夠比以往更準確地識別和表征基板特性。這種優越的精度使用戶能夠提高其基材的質量並提高其產量。此外,該模型能夠快速高效地處理大量晶片,而其先進的人體工程學設計即使在較長的測試周期內也能確保用戶的舒適性和易用性。
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