二手 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9182331 待售

ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500是設計用於半導體制造的綜合性晶圓測試和計量設備。它能夠測試和測量厚度達0.5mm的薄膜,由兩個成像系統組成,並可以通過高精度3D非接觸掃描收集數據。它以能夠以最高精度和分辨率對光澤或反射表面成像而聞名。該系統可進行廣泛的測試，包括電氣表征、電氣缺陷分析和缺陷跟蹤，也可用於識別晶圓中存在的汙染。ADE Ultragage 9500有一個全自動光學單元，具有電動聚焦，步進電機用於X、Y和Z移動，以及圖形用戶界面（GUI），為用戶提供晶圓的交互式視圖和正在進行的測量。它可以測量分辨率為1納米的高分辨率薄膜厚度，可以精確測量1.4微米線的微邊缺陷，可重復精度。此外,它還可以獲得用於掃描和非掃描測量的全場測量結果,從而可以對晶圓進行深入表征。KLA Ultragage 9500還具有全自動3D地形功能,可用於測量尺寸低至100納米的高架特征。它配備了自動化缺陷檢測和分析工具，允許檢查孤立的單點缺陷和對齊模式。此外,它還具有半自動圖像分析（SMIA）功能,可用於識別關鍵樹突、寄生側向過度生長和其他缺陷,為用戶提供晶圓特性的最深入檢測和分析。此外,Ultragage 9500還可以配置為內聯生產和機器研發應用程序,從而提供高級的在職診斷和過程功能。它是實現全面晶圓測試和測量的經濟高效的方法，因此適用於許多先進的半導體工藝。