二手 AKRION GAMA 300 #9200152 待售

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AKRION GAMA 300
已售出
製造商
AKRION
模型
GAMA 300
ID: 9200152
晶圓大小: 12"
Wafer cleaner, 12".
AKRION GAMA 300是為需要濕法加工和沈積工藝步驟相結合的先進制造工藝而開發的濕站。它是一種多合一的機器,旨在簡化薄膜、蝕刻、清潔、金屬化和其他工藝的操作,而不會造成汙染問題或損害制造產量。AKRION GAMA-300具有完全集成的幹輥系統,該系統用於自動濕處理,旨在保持基板完整性並支持多種基板,包括用於MEMS、LED和CMP的基板。嵌入式liquidsmanagement解決方案提供閉環成分管理,允許運營商保持準確的參數和配方追溯。自動適配器處理系統可以處理各種盒式磁帶和容器,以最大程度地減少與流程轉換相關的時間和成本。GAMA 300提供了可自定義的處理模塊配置,以適應批量或串聯操作以及各種集成腔室,以確保與各種濕工藝兼容。集成的機器人系統在基板處理方面提供了靈活性,允許在過程中集成其他過程步驟。用戶友好、基於Web的控制界面專為直觀的可用性而設計,提供遠程訪問、實時數據共享和遠程診斷過程。GAMA-300還具有模塊化構件,允許用戶根據自己的需求創建有競爭力的生產解決方案。機器保護基板免受幹性或濕性汙染,提供卓越的性能、可靠性和靈活性。它配備了圖形用戶界面(GUI),具有直觀的交互式控制功能,可從任何位置遠程操作。AKRION GAMA 300可以整合多個或單個晶圓製程,同時提供精確的製程控制。其高吞吐量和堅固的硬件確保了可重復運行,並降低了維護成本。AKRION GAMA-300是一種功能強大的濕加工解決方案,適合各種行業。它是完全自動化的,旨在處理各種沒有汙染或產生問題的基板。GAMA 300通過為內聯或批量操作提供可定制的處理模塊,以及用戶友好、直觀的軟件,為復雜的生產操作提供了全面的解決方案。
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