二手 AKRION MP-2000 #9189727 待售

AKRION MP-2000是一個用於半導體生產的水淹式濕式站，設計用於不同工藝模塊之間的快速和容易的變化。它提供了一套功能,例如集成氣體分配、可調節的刀具附件、高效的介質控制以及帶有圖形用戶界面的直觀控制,使其成為高級晶圓制造的極具吸引力的濕式工作站。MP-2000具有一個大型工具表,該工具表具有可調的連接點,允許使用各種清潔和蝕刻工具,這意味著在切換過程時您無需進行完整的刀具更換。這意味著更少的停機時間和更高的生產效率。綜合氣體分配設備和閉環介質輸送系統的結合也有助於確保最高水平的過程穩定性和準確性。AKRION MP-2000還允許在配置流程方面有很大的靈活性。用戶能夠定制工藝流程和順序，同時考慮到不同基材的需求和生產目標。此外，直觀的控制單元還包含一個圖形用戶界面和設置向導，使用戶可以輕松地充分利用濕站。MP-2000還采用了多種安全協議,使其非常適合潔凈室環境,包括1級回收系統,該系統允許工藝流體的再循環,以及收集和處置廢舊懸浮液。為進行預防性維護,AKRION MP-2000采用了一種自我診斷算法,可用於分析濕站的性能和診斷任何潛在問題。這有助於減少停機時間並確保濕站的長期可靠性。總體而言，MP-2000是一個用途廣泛且可靠的濕式工作站，具有很高的工藝穩定性和靈活性。其直觀的用戶界面、集成的氣體分配機、可調節的刀具附著以及自我診斷算法使其易於使用和維護，使其成為各種半導體生產需求的絕佳選擇。