二手 ADE / KLA / TENCOR NanoMapper #9203138 待售

ADE / KLA / TENCOR NanoMapper
ID: 9203138
晶圓大小: 12"
X-Ray spectrometer, 12".
ADE/KLA/TENCOR NanoMapper是一種X射線設備,設計用於提供納米尺度分析的高分辨率成像。該系統非常適合為小特征提供高分辨率成像,用於檢測和分析納米級特征。該裝置采用先進的數字X射線探測器,對200-1000 keV範圍內的高能X射線光子敏感。ADE NanoMapper的設計目的是在從亞微米粒子到多層半導體晶片的各種樣本量上提供具有亞微米分辨率的成像能力。該機配備了能夠在30kV運行的高速X射線源,以及用於捕捉高分辨率圖像的高精度CCD相機。X射線源能夠產生均勻的X射線通量,並能精確控制光束光斑大小,提供良好的成像對比度。KLA NanoMapper還能夠將高速CCD相機與獲得專利的X射線光束掃描技術相結合,以高分辨率成像大型樣品。這項技術可以捕獲分辨率高達0.5µm的大型樣品的圖像,並提供空間頻率和離線成像。該工具非常適合對各種樣本量的納米尺度特征進行靜態和動態成像。該資產能夠高速獲取全場圖像以及分辨率不同的多場圖像。TENCOR NanoMapper還配備了自動對準模型,以提高樣品尺寸的準確性。這種自動化設備可以產生更高精度的重復結果,而不是手動取樣。NanoMapper是一種多功能X射線系統,能夠為各種納米級功能提供高分辨率成像功能。該單元配備了先進的X射線探測器、高速X射線源、高精度CCD攝像機和專利光束掃描技術,以提供準確、可重復的結果。該機是提供納米級特性高分辨率成像的理想工具,是研究和工業應用的寶貴工具。
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