二手 SVG 86 #9214252 待售

SVG 86是用於微機加工裝置制造的光刻設備。它是一種高性能的非接觸式光刻系統，用於制造金屬、塑料、矽基基板等多種材料的高精度、高縱橫比特征。這一單元基於一種革命性的、獲得專利的短波疫苗氣源（SVG）技術，該技術保證了在基板表面以極高的精度進行均勻和可重現的覆蓋。在86中，一種超冷的稀有氣體在真空室中保持在定義的壓力下，然後被一種短距離電阻脈沖照射，這種脈沖將底物特有的光硬化化合物釋放到底物材料上。這些化合物在暴露於SVG 86的特殊光線圖樣時迅速硬化到基板上，在最復雜的圖樣中產生尖銳的特征、高長寬比和出色的底壁清晰度。86是一種多功能機器，可以在一個步驟中直接構成所需的結構，而不需要預掩蔽步驟。換句話說，該工具允許用戶直接塑造基板表面的暴露，而無需在實際暴露之前進行任何額外的預處理。這樣就可以在一個步驟中高速高效地生產精確的器件結構以及對原本復雜的特征進行高效的光刻。該資產廣泛用於生產集成電路芯片、納米間隙、機電開關、顯示器、封裝、MEMS設備以及其他相關技術,這些技術必須產生難以置信的精確結構才能按預期運行。由於SVG 86沒有預掩蔽步驟，而且能夠調整對基材的暴露能量，因此它為非接觸式光刻工藝提供了最好的解決方案。86是高精度器件制造的理想解決方案,在成本、時間和精度方面都具有很大的優勢。它確保了光刻步驟的最大可重復性，並以最高精度準確地產生所需的器件形狀。SVG 86具有高質量、高效、可靠的性能,是任何高精度光刻應用的首選解決方案。