二手 SVG 86 #9214253 待售

GCA Corp公司的SVG 86是一種在半導體器件的制造中使用光刻膠的設備。光致抗蝕劑是一種對光有反應的材料。在這個系統中，它與聚焦電子束結合使用來修改它，以便在底物上產生電路。86單元是一個三階段的過程。第一階段涉及利用電子束技術通過遮罩將基板暴露於光中。在這次曝光過程中，光刻膠中的材料被修改並創建圖樣。根據正在制造的設備,此模式的復雜性和大小可能會有所不同。在第二階段，底物暴露於作為蝕刻劑的酸溶液中。這種蝕刻方法稱為濕蝕刻。此步驟會移除暴露在光線下的材料,並在基板上建立所需的特徵。最後，基板被暴露在一個升空過程中，以清理額外的掩蔽材料，如顯影劑殘留物或不需要的副產品。最後一步將在基板上創建最終設計。總體而言,SVG 86是一種光刻機床,具有光刻特性,可產生高分辨率圖像和電路圖樣。它還承諾提高可重復和準確設計的產量，因為它的高度自動化。此外,此工具的直觀用戶界面和操作資產易於使用。這使得該模型非常適合用於制造各種半導體器件。