二手 MEYER BURGER DS 271 #9138091 待售

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MEYER BURGER DS 271
已售出
ID: 9138091
優質的: 2010
Wire saw, 1020mm load length for 156 x 156 ingot Slicing yield for 190um ~99% Plant yield > 94%, with 120um kerf loss 2010 vintage.
MEYER BURGER DS 271是一款晶體生長、鋸切和切片設備,旨在滿足最苛刻的半導體加工環境的需求。該系統建立在最新技術進步的基礎上,采用尖端晶圓稀釋技術的獨特組合,以最大限度地提高整體效率和產量。該單元提供了一種創新的晶體生長架構,這大大延長了晶圓被加工的壽命。這是通過先進的氧化技術、改進的邊緣萃取和可調節的溫度剖面相結合實現的。晶體生長結構使晶體純度更高,生長速度更好。MEYER BURGER DS271還利用一臺精密先進的鉆石鋸切機對晶圓進行精確切割。鉆石鋸具有出色的切割能力,最大切割速度為每分鐘90次切割,最小切割速度為每分鐘30次切割。此外,這個工具可以提供0.2mm的最大可重復精度。為確保最佳切片效率,DS 271采用了最先進的切片技術。這種切片技術在切片厚度和晶體尺寸方面都具有靈活性。切片精度維持在0.3µm,切片速度範圍為每分鐘4片。DS271在用戶控制方面也提供了極好的靈活性。資產包括一個易於使用的界面,允許調整各種設置。這包括為斜坡、鋸切深度和進料速率定制程序設置的能力,以及對模型各方面如冷卻液流量、切割速度等進行監控和控制的能力。總體而言,DS 271對於那些尋求晶體生長、鋸切和高性能切片設備的用戶來說是一個極好的選擇。該系統結合先進的氧化技術、精密的金剛石鋸切和切片技術,是晶圓高效可靠加工的理想之選。
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