二手 ASM A 600 UHV #195781 待售

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ASM A 600 UHV
已售出
ID: 195781
Selective deposition LPCVD systems, 8" Process: SiH4 / Ph3 anneal, (2) chambers Software version: Windows NTVer.4.0 Service Pack 4 OS9 Ver.3.03 Vacuum pump included 1999 vintage.
ASM A 600特高壓是為超高真空(UHV)的制備、加工、薄膜沈積等目的而設計的擴散爐及附件套件。它由真空室、電加熱元件、電源、安全聯鎖、數字負載控制設備和自動沈積控制模塊組成。真空室采用不銹鋼結構,圓柱形設計,內徑600mm。它配備了兩個安裝在頂部和底部的水冷冷庫,有助於防止水蒸氣到達基質。A 600特高壓的電加熱元件是嵌入Nichrome元件的硼矽酸鹽玻璃管。這些Nichrome元件串聯連接到電源單元,允許在真空室內精確操縱溫度。電源嵌入腔壁,可以對加熱元件進行絕緣和安全控制。控制系統采用數字負載控制器和PID(比例積分導數)算法,以0.1度的精度監控和調節溫度。ASM A 600特高壓還具有多種安全功能,旨在保護人員和設備。這些措施包括過度溫度控制、緊急停止、壓力安全互鎖和電源鎖定。此外,整個機組的設計工作壓力為超高壓(10^-11至10^-9大氣)。這為表面制備提供了極低的汙染環境。集合的最後一個組成部分是一個自動沈積控制模塊。該模塊允許多個沈積循環,對沈積時間和氣流進行精確控制。它配備了自動初始化功能,可幫助維護對流程參數的精確控制。這確保了可重復和一致的沈積結果。總之,A 600超高壓是一種可靠、通用的超高壓真空機,專為沈積和塗層工藝而設計。它具有多種功能,如數字溫度和壓力控制、安全聯鎖和自動沈積控制,有助於保持準確性和可重復性。這些特性使其成為工業和實驗室應用的理想選擇。
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