二手 BRUCE BDF-4 #72491 待售

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BRUCE BDF-4
已售出
製造商
BRUCE
模型
BDF-4
ID: 72491
晶圓大小: 6"
furnaces, 6".
BRUCE BDF-4是一種高性能擴散爐,用於對金屬、陶瓷和玻璃的表面或體積進行精確控制的改變。它使用擴散技術來制造薄膜、擴散屏障、吸收器和其他組件。爐子由一個頂裝櫃組成,底部有一個反作用室。腔內有氣體入口、氣體出口和熱電偶,用於測量腔內溫度。該腔室的工作溫度範圍為670-1600 °C,可在水平和垂直方向操作。腔室位於一個陶瓷底座上,該底座位於立管上,外部邊緣有導引腳。Riser卡可以使用手動曲柄上下移動,用於容納不同尺寸的部件。在立管上可以放一個crucible支架、架子和crucible,架子可以根據不同的操作高度進行調整。BDF-4還配有真空系統,以便在需要時在室內創造真空環境。真空壓力可以根據工藝的反應要求通過真空/壓力調節器控制。該爐還具有高性能的氣體控制系統,可以引入多種氣體,而不會損失室內的真空。氣體控制系統包括一個可調氣體入口,內置溫度控制,一個可調氣體出口和一個可選的外部傳感器,用於監測腔室中存在的確切氣體量。BRUCE BDF-4還包括一個高溫計時器,以確保需要精確持續時間的過程的準確和可重復的計時。此外,該爐還包括一個冷卻風扇和一個風速計,用於精確控制室內發生的任何反應的冷卻階段。BDF-4是一種特殊的擴散爐,在制造薄膜、擴散屏障、吸收器和其他部件方面具有廣泛的應用。該爐具有可調的氣體入口、氣體出口以及在不影響真空的情況下引入多種氣體的能力,非常適合進行復雜而精確的擴散過程。
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