二手 KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace #9023917 待售
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已售出
ID: 9023917
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
High temperature batch anneal furnace, 12"
Free processing of FOUP is possible by 1 FOUP high-speed transfer
The FOUP Transfer part is equipped with Area Sensor for safety of system
Buffer 16 FOUP storage for 12" Wafer (18 FOUP option)
Full range pressure control from ATM to Low Pressure (option)
Fast temperature ramp up/down control (option)
Furnace port opens downwards
SiC wing boat with wafers inside is loaded into the reactor tube without touching the process tube
Equipped with a variable number of wafers transfer mechanism
CX series controllers made by Hitachi Kokusai are adopted in the system
Main operation control panel uses color LCD touch control panel
FOUP charge port of the system is equipped with LIGHT CURTAIN for safety
Restriction of operation regarding environment (heavy industrial areas)
12" single boat
Temperature monitoring by 5 outer T/C, 1 cascade T/C, 5 overtemp T/C
Gases (Horiba Stec):
30 slm Ar/4%H2 (MFC)
30 slm N2 (MFC)
30 slm O2 (MFC)
1 slm O2 (MFC)
0.5 slm HCl (MFC)
10 slm Ar (MFM)
Currently installed
2007 vintage.
KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace是一種擴散爐，設計用於對各種材料進行快速熱處理。它配備了一個專有的過程控制器，在快速熱處理過程中提供高級功能。該爐可以加工多種材料，包括矽、鋁、金屬和塑料。它能夠處理300 °C至1300 °C的溫度，循環時間非常短，只有1秒。Quixace采用直接驅動機制,允許用戶快速更改加熱速率、溫度範圍和冷卻速率。不銹鋼腔室和保護氧化鋁襯裏可實現穩定可靠的加工。Quixace為適應多級加工而建造，可用於退火、活化、焊接、脫氣、脫膠、上釉、浸漬等。該擴散爐采用人體工程學設計，組件布置緊湊，地板空間利用效率高。Quixace的雙大氣循環系統提供了卓越的均勻性和靈活性。它還設計了先進的絕緣材料，以盡量減少熱損失，從而降低能耗。Quixace爐先進的安全特性保證了工藝的可靠性和性能，消除了與過度加工和事故相關的風險。DD-1206V-DF Quixace配備了多種配件,是滿足各種熱處理需求的理想選擇。它可根據用戶所需的工藝進行定制,並具有工具端口、用於樣品持有者的石英管、可調流量以及最多可存儲16種配方的功能。此外,Quixace可以與各種數據采集和控制系統（如基於PC的軟件）連接,從而實現自動化過程控制和監控。總體而言，KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace是一種可靠、高效、精確的擴散爐，專為各種高溫加工需求而設計。Quixace具有堅固的構建質量、用戶友好的設計以及廣泛的功能和配件,是熱處理應用的絕佳選擇。
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