二手 KOKUSAI DD-802V-B #9044527 待售

KOKUSAI DD-802V-B是一種擴散爐及配件設備，旨在為先進半導體產品提供高效、經濟高效的生產。它由工藝室、晶圓船、熱加熱元件、泵和帶有整體石英管的工藝室組成。主加工室采用不銹鋼制成，容積47升。腔室裝有最高溫度1200 °C的容器。晶圓船有三個300°C至1200°C的溫度區，允許晶圓生產時有效的過程控制。加熱元件在擴散過程中提供晶圓船的均勻加熱。整體石英管在擴散過程中便於晶圓表面摻雜。石英管的溫度穩定性為1 °C，可以調整管內容積以增加或減少摻雜過程。此外,還有一個集成到工藝室中的泵。該泵用於確保化學品在擴散過程中的有效流動。KOKUSAI DD-802VB的製程室設有三個氣體輸入。這是用來允許過程在各種大氣下運行，如還原，氧化和惰性。除氣體輸入外，該過程還包括壓力和溫度監測儀，允許精確控制擴散大氣。該系統配備了安全功能，如連接到晶圓船和加工室的熱電偶，以監測生產過程中兩者的溫度。此外，還使用氣體/氣流裝置，以確保在該過程中安全和有效地清除任何有害排放物。總體而言,DD-802V-B是一種可靠高效的擴散爐及附件機.它旨在提供經濟高效的先進半導體產品生產,使公司能夠提高產品質量並降低運營成本。它提供各種安全功能，以確保操作員的安全工作環境。整體石英管可方便摻雜，增加溫度穩定性，改善擴散氣氛的控制。