二手 KOKUSAI DD-813V #9071567 待售

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KOKUSAI DD-813V
已售出
ID: 9071567
Oxide furnace.
KOKUSAI DD-813V是一種用於半導體加工的擴散爐。是一種裝有手動裝卸能力的垂直管式爐。爐高800mm,內徑200mm。DD-813V的標準工作溫度可達1100 °C。KOKUSAI DD-813V具有廣泛的擴散功能。它能夠同時進行氧化物和氮化物的沈積過程。每個擴散過程周期可長達8小時。此外,該爐采用多點溫度監測設備,確保了工藝的穩定性。此外,該系統還配備了緊急關閉控制機制,以在發生緊急情況時保護爐子和用戶。該單元配有各種配件,以保證安全,提高擴散過程的質量。這些附件包括但不限於冷卻風扇、安全門、底部托盤升降機、排氣口、進水口、電動泵、液氮通路、放氮軟管。這些部件的設計旨在通過在不同擴散過程中控制室內溫度和氧氣水平來確保機器的安全運行。為了確保過程的可重復性,DD-813V板載內存功能以存儲所有必要的參數。這使得在擴散過程中易於優化和控制。該工具還提供各種通信功能,如遠程監視和維護、主機資產通信、以太網支持、數據記錄和趨勢以及溫度歷史回顧。KOKUSAI DD-813V擴散爐是一個強大的模型,提供可靠和可重復的結果。它專為當今要求最苛刻的半導體工藝而設計,即使在最困難的環境中也能提供可靠的操作。設備價格合理,在半導體加工中物有所值。
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