二手 KOKUSAI DD-853V #9074137 待售

KOKUSAI DD-853V是一種最先進的水平擴散爐，設計用於半導體加工中所有標準工藝的卓越性能。具有高精度的壁式反應器和可靠的雙節段耐火襯裏，可產生優越的均勻性。該設備提供了卓越的可重復性、準確性和均勻性、熱和溫度均勻性,同時還有助於降低與實驗過程和停機時間相關的成本。該系統的最高溫度為1,180 °C,最低溫度為800°C,公差±為1°C。這確保了大規模生產運行不會遇到傳統擴散爐的問題。該設備還提供高性能真空級別,具有高達10-5Pa的向下加熱功能,以及1.5x10-5 Pa/秒到0.5x10-4 Pa/秒的可變上暖速率。此外，擴散爐的功率很容易通過控制臺界面控制的參數進行管理和控制。KOKUSAI DD 853V提供各種配件，以滿足不同級別用戶的需求。其中包括升級的冷卻機、特殊的擴散板、粒子過濾器、定制的熱區等等。可自定義的熱區還具有多個列和插槽,而冷卻工具具有高容量冷卻資產,可確保高效冷卻時間。DD-853V采用的先進的自動化和控制模式確保了平穩運行和加強過程控制。此外，加熱和冷卻時間容易編程。用戶還可以通過液晶顯示器顯示器輕松跟蹤和監控其擴散過程。總體而言，DD 853V是一種有效且成本效益高的擴散爐及配件解決方案，在半導體加工的許多方面都表現出色。KOKUSAI DD-853V憑借其先進的自動化和控制設備、高效的冷卻系統以及可升級的配件，是尋求達到優越生產速率和質量水平的客戶的理想選擇。