二手 KOKUSAI DJ-802V #9094687 待售

KOKUSAI DJ-802V是一種擴散爐和配件，可用於與生產半導體和半導體元件有關的多種任務。KOKUSAI DJ 802 V能夠進行高質量的摻雜、退火和氧化過程。DJ-802V是一個完全獨立的單元，包括真空室、室內加熱器和氣體輸送系統。DJ 802 V為用戶提供溫度高達1100攝氏度的工藝室。該工藝室由鍍鉻矩形不銹鋼構成，並用二矽化銨加熱元件絕緣。該工藝室的絕熱性能極佳，保證了快速的溫度傾斜和嚴密的溫度控制。KOKUSAI DJ-802V還配備了先進的氣體輸送系統，能夠接納氮和不同的前體。裝置內部安裝了具有磁懸浮耦合的高真空泵系統，以提供過程所需的必要真空水平。可選的射頻發生器可用於低壓PECVD工藝。該工藝室有兩個用於樣品引進和觀測的石英頂載口和兩個用於裝載大型晶片和樣品的基板支架。加工室可容納高達200 x 300 mm的晶片，厚度可達4mm。控制器和軟件包使用戶能夠與設備進行交互並控制爐子的各個方面。可以從用戶界面遠程調整所有進程參數。該單元還配備了幾個安全功能，以防止意外損壞或損壞該單元。KOKUSAI DJ 802 V的所有組件都經過測試和認證，以符合嚴格的安全標準。DJ-802V是一種可靠而堅固的擴散爐，適用於與半導體生產有關的許多任務。DJ 802 V憑借其高溫能力、先進的安全特性和軟件驅動的控制器，脫穎而出，成為一款用途廣泛的擴散爐及配件套裝。