二手 KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L #161991 待售

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KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L
已售出
ID: 161991
Furnace.
KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L是為滿足半導體研發、學術、制造等領域的需求而設計的擴散爐及配件包。815V-8L套件包括工作溫度範圍為500-1600 °C的8x15x3英寸真空石英陶瓷室、3英寸石墨敏感器、可變壓力氣體噴射器設備、高真空泵送系統以及單獨的排氣口。該擴散爐采用閉環PID加熱器損耗控制裝置,優化了加熱元件的熱平衡。其焊接加熱元件設計為減少侵蝕,提高室內溫度均勻性。室內使用氧化鋁隔熱罩和氣流風扇也增強了溫度均勻性。3英寸的石墨敏感器為生產環境提供了更高的加熱速率,並允許小面積的快速冷卻。它還為基板運輸和裝載提供了一個方便的平臺。可變壓力氣體噴射機是為低壓摻雜物擴散到半導體晶片而設計的。高真空抽水工具確保腔室在引入摻雜氣體前被抽空,從而提高了裝置的運行效率。該擴散爐設計具有控制有害氣體和等離子體過程的安全特性。這些包括壓力報警器、計時器、溫度監測、電流監視器和互鎖系統。此外,該設備還具有集成的過載保護器,可降低觸電風險。此外,Vertex V-DJ 815V-8L由一套綜合的基於Windows的軟件支持。該軟件提供了便於用戶使用的工具,用於監測、控制和記錄流程參數,以及實時數據的顯示。總體而言,KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L是滿足半導體行業苛刻應用的理想解決方案。它提供了出色的溫度均勻性、高真空操作和先進的安全特性,所有這些都在緊湊的外形內。其通用的石墨敏感器和可變壓力氣體噴射器使其成為研究和生產環境的理想選擇。總體而言,Vertex V-DJ 815V-8L是擴散爐和附件包裝的絕佳選擇。
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