二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9075734 待售

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SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300
已售出
ID: 9075734
晶圓大小: 12"
TEOS Furnaces, 12" Currently in fab.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300是一種高品質的擴散爐和附件,用於專業實驗室環境中的熱和電處理應用。這種組合設備包括容量可達300 cc的真空密封工藝室、固態工藝控制器以及各種附加組件,以方便先進工藝。該工藝室由高導熱材料制成,采用射頻加熱設計,效率更高。它還與可用於快速熱過程的導熱氣體兼容,並具有600°C/秒的快速坡道加熱能力以提高吞吐量。對於需要精確溫度控制的應用,工藝控制器可提供精確的溫度調節,目標精度±為0.5°C。它能夠同時監測工藝室的溫度和氣體壓力,並具有安全的過熱保護功能。該系統的其他功能包括一個自動、連續的真空循環,腔室泵送速度為10立方米/小時,腔室壓力範圍為100 mTorr至8016 mTorr,並且具有晶圓/虛擬裝卸的可轉動驅動器。晶圓和虛擬加載端口都存在,驅動器的可調速度便於加載和卸載操作。該裝置還包括一個供氣的溫度入口和一個6個場景的可編程氣體攪拌控制臺,可高達1800°C。它允許精確控制加工氣體,以便在加工過程中產生所需的熱效應。集成氣體洗滌器還允許在工藝完成後清除未反應的氣體。總體而言,SVG RVP 300擴散爐及附件是一種可靠且用途廣泛的機器,具有多種功能,可方便各種熱過程。對於需要可靠、準確的擴散爐及附件的專業實驗室來說,它是一個理想的解決方案。
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