二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9097644 待售

SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300擴散爐及配件為各種工藝提供了工業強度的熱解。該設備由爐子、額外氣源、陶瓷隔離源和先進的溫度控制組成。這種最先進的擴散系統為冶金、半導體和光電行業的多樣化應用提供了優越的平臺。SVG RVP 300爐配有高性能石英管。這種石英管可以加熱到1200攝氏度的溫度，這使得它適合眾多的生產工藝。一個獨特的陶瓷室，可通過滑動門進入，確保高效的傳熱，提供可靠和一致的結果。先進的溫度控制保證了熱處理環境的精確調節和監測。溫度控制提供攝氏30至1200°的溫度範圍，精確度為攝氏1°。除了爐子外，AVIZA RVP 300單元包括幾個通過集成氣箱連接的強大氣源弧。這個氣箱提供了多種氣源的選擇，包括氮氣，氫氣，或氙氣。這些源允許材料擴散到矽片中。陶瓷隔離源，這也包括在機器，允許材料的精確各向同性擴散。這是最重要的，因為它允許在單個晶圓內集成多層。RVP 300工具是一個高度可靠和高效的先進工業級熱平臺。它提供了一個範圍的溫度和精確度的多合一包。它配備了一系列先進的氣源和陶瓷隔離源，提供了一系列的生產過程。對於業界領先的散熱工藝,THERMCO RVP 300提供了出色的解決方案。