二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #9168600 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是一款先進的擴散爐及配件包裝，旨在滿足具有挑戰性的嚴格要求。該設備采用單晶片或批處理技術,每小時可達到6000個晶片,從而實現更高的吞吐量和更低的成本。該系統提供了令人印象深刻的一系列特性和功能。SVG VTR 6000具有創新的加載晶圓堆疊旋轉木馬,每轉最多可裝載三個晶圓,顯著提高了吞吐量。其化學站設計用於快速和精確的化學註入，而精確晶圓放置機制有助於確保晶圓的精確對準。整個腔室的精確溫度控制對於擴散操作過程中均勻的非氧化大氣特別有利。為了便於操作和增強安全性,AVIZA VTR 6000采用了高級故障監控和診斷功能。全彩色圖形LCD觸摸屏界面支持輕松操作並顯示實時流程參數,而監控系統和可選壓力傳感器則提供全面的流程控制。該裝置還提供可靠的機器監測和診斷能力，配備可選的光學發射光譜儀，用於檢測腔室中存在的任何有害汙染物。此外，集成電氣基板分析儀（ESA）有助於監測擴散過程的進展。為了最大限度地方便用戶，THERMCO VTR 6000設計為與機器人系統和晶圓負載鎖定系統集成。它還具有直觀的軟件程序,可幫助用戶快速配置食譜。此外,該工具還能夠存儲多達10,000個食譜,以便於檢索。為了最大限度地提高正常運行時間,資產還配備了無電纜連接模型,可減少維護和維修所需的時間。總體而言,VTR 6000擴散爐及其附件為各種應用提供了經濟高效且可靠的解決方案。先進的設備設計、全面的系統監控診斷能力、直觀的軟件程序、無電纜維護單元，確保了可靠、經濟高效的性能和優越的用戶便利。