二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #101184 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是半導體製造用的擴散爐及附帶配件。這種先進的自動化工具旨在改進半導體蝕刻工藝，並用於世界各地的研究和生產設施。TEL ALPHA-303I具有通過精確控制快速加熱和冷卻的能力。它還具有快速氣體流量、溫度和壓力變化的能力。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I由擴散爐、旋轉和線性運動的旋轉驅動器、定向鎖和具有用戶界面的控制器組成。擴散爐由多個加熱區和一個溫度/冷卻單元組成。溫度/冷卻單元是一種數控熱環境，用於精確控制爐子及其部件的溫度。方向鎖可消除機械松動,並可提供更穩定的深輪廓蝕刻。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還有一個帶有用戶界面的控制器。此界面允許用戶輸入參數並監視設備的進度。例如，用戶可以在蝕刻過程之前、之中、之後監控溫度、壓力、氣體流量等參數。此外,控制器還具有內置的安全功能,可確保設備以穩定、可重復和可重復的方式運行。為了確保平滑的動態性能,TEL ALPHA 303 I還具有許多功能。這些特點包括用於快速加熱和冷卻的穿梭系統、用於快速溫度變化的氦氣輔助能力、用於均勻加工基材的先進再循環系統以及便於氮氣流動的液氮槍。這種先進的擴散爐設計用於研究和生產設施中的高端設備。憑借增強的安全特性和先進的控制系統，ALPHA-303I是改進蝕刻工藝的有力工具。該工具適用於廣泛的應用，是提高生產精度和速度的理想選擇。