二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9095367 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種主要用於半導體工業的擴散爐和附件，用於通過擴散過程處理晶圓和其他材料。TEL ALPHA-303I是一種緊湊的設備，在高溫和各種晶圓直徑下執行快速熱處理（RTP）。它是一個高效和高效的系統，能夠同時運行四個不同的進程。可以在TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I上運行的不同過程如下：氧化、退火、快速熱處理和擴散。TEL ALPHA 303 I配備了一個控制裝置，稱為模糊邏輯控制單元，使其能夠準確快速地響應各種過程參數。該裝置允許操作員輕松設置和控制溫度剖面、電源電壓和爐膛壓力。此外,控制設備可以在發生錯誤時向操作員發出警報。ALPHA-303I有一個可容納多達24個4「或16個6」晶片的大型加工室。腔室壁由石墨制成，腔室由氧化鋁包覆的屏蔽層進一步保護，有助於改善隔熱。該爐還配備了機器人穿梭機，可以將晶片從裝載站轉移到反應堆，反之亦然。操作時，爐膛加熱至1500 °C的最高溫度，溫度均勻度小於± 10°C。腔室壓力不斷監測，可變化至最大3-7Torr，精確度為0.1Torr。擴散爐還配備了溫度剖面采樣工具，通過記錄溫度剖面每秒20倍來限制爐的溫度範圍。ALPHA 303 I專為安全、高效、準確和高效的晶圓處理而設計。它配有排氣口，可以連接到適當的通風口資產，以進行有效的排放控制。該模型還具有閉環安全特性，可主動監控爐子及其排氣設備，確保持續的安全和性能。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種高效生產的擴散爐，非常適合半導體加工應用。它能夠以均勻性和準確性迅速達到高溫，並配備了多種安全功能，以確保適當的操作和排放控制。