二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805 #191404 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805是用於半導體加工的擴散爐。這種高端的實驗室級爐能夠執行各種過程，如快速熱退火（RTA）、晶體管制造和高溫擴散。該爐還能夠提供高達210kw（千瓦）的峰值加熱功率。該爐具有全不銹鋼內部，由8英寸圓形熱區組成。這與石墨絕緣體耦合，以確保均勻的溫度分布以達到均勻的處理結果。而且，熔爐可以達到高達1250°C的溫度進行快速熱處理，以及高達950°C的擴散處理。TEL Alpha 805還提供精確的溫度控制,穩定性為+/-0.2 °C。通過480V/ 3Phase/60Hz交流電源連接向爐子供電。由於對爐子的高功率要求，它配備了一個三相變頻驅動器（VFD），為穩定的處理提供精確、可靠的控制。該爐也可在獨立或計算機控制模式下操作。直觀、多語言的觸摸屏界面為系統增加了更多的便利性和用戶友好性。TOKYO ELECTRON ALPHA 805還提供出色的安全功能,包括熱切斷開關和氧氣監視器,以及具有20 mbar （milliBar）、高達0.5 Pascal Vacuum的30步高壓真空系統。此外，一個完整的，完全可伸縮的盒式負載鎖定系統允許方便訪問和樣品加載。對於可靠、高效的晶圓級處理結果，Alpha 805是一個不錯的選擇。其直觀的用戶控制、精確的溫度控制、高精度和安全特性使其成為任何現代半導體實驗室的理想擴散爐。