二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #101454 待售

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ID: 101454
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
LPCVD furnace, 8", 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S擴散爐是為制造業工業應用而設計的多功能基板加熱系統。TEL ALPHA-8S包含兩個獨立的區域:一個用於形成基板的加工室和一個用於高速冷卻的冷卻室。該工藝室采用高密度加熱元件,用於快速、均勻的基板加熱。溫度範圍為50-1200 °C,是通過鉬-的熱電偶可靠地獲得的,確保整個過程的精確溫度控制。溫度可以通過觸摸面板或可編程邏輯控制器(PLC)控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S以SC5石英敏感器構建,最大基板尺寸300 x 300 mm。這確保了良好的表面均勻性和均勻的熱擴散,以改善基板的細節,同時有效地防止了熱應力造成的損壞和變形。冷卻室配備了先進的冷卻技術,提供快速的冷卻速率,即使是大基板。TEL ALPHA 8 S擴散爐可用於多種行業,包括研究、晶圓和材料加工以及電氣設備。此外,還可選配燃氣箱、排氣罩和冷水系統等附件,以提供高效的溫度調節以及氣體、煙霧和熱量的精確分布。總體而言,ALPHA-8S擴散爐是一種可靠、通用的工業加熱系統.它提供精確的溫度控制、均勻的熱擴散和快速的冷卻速率,使其成為滿足各種加工需求的理想解決方案。
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