二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #180604 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種先進的高溫擴散爐和集成配件。該爐設計用於半導體、MEMS等微電子工業樣品的精密PECVD處理。它在可靠、易於操作的平臺上運行,能夠處理高達1250°C的溫度。TEL ALPHA-8S以先進的高溫擴散性能和無與倫比的靈活性給人留下深刻印象。直觀的圖形用戶界面使用戶能夠在記錄時間內自定義高級流程參數或設置極端配方。雙射頻源單元也具有很高的適應性，可以輕松調整以支持非晶矽沈積等先進工藝。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S爐能處理多種晶圓和基材，非常適合原型制作和生產。雖然其他熔爐可能需要大量維護,但Alpha 8S成本低,幾乎不需要預防性維護。該工藝室具有先進的冷卻功能，使其能夠安全、方便地處理持續較高的工藝溫度。TEL ALPHA 8 S配備了優化運行所需的所有配件，如近紅外石英加熱器、高效冷卻系統、先進電源系統等。所有這些組件都集成在一起,以實現最佳性能和便利性。集成組件允許快速、方便地訪問,這意味著最短的設置時間和更高的吞吐量。TEL Alpha 8S還具有極端溫度傳感器、O2和H2氣體探測器、壓力傳感器等先進安全系統。這些功能使操作員能夠快速識別任何潛在問題,從而能夠快速幹預和改進過程控制。綜上所述，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種高性能、安全可靠的擴散爐，非常適合半導體、MEMS等微電子行業的原型制作和生產。美觀、處理能力、先進但操作簡單的平臺，使其非常適合任何生產環境。