二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #116227 待售
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ID: 116227
VF LPCVD ASG furnace
SMIF Type: Asyst
SMIF indexer: 2
Cassette transfer: cassette transfer
Wafer transfer stage : 2 stage
Cassette stock: Stocker(21)
Boat process: one boat 2 batch process
Wafer transfer: FORK(5)
Process reactor: one reactor one system
Heater: Five zones
Boat position: cooling, process and loading position
TC position:
Paddle TC: Between outer and inner tube
Spike TC: on heater
Injector:
ASP: 6 injectors
ASG: 5 injectors
Process gas:
ASP: N2/SiH4/H2/0.7%AsH3/ClF3
ASG: N2/O2/TEOS/Teasat/ClF3
MFC: UNIT
Boat material:
ASP: SIC
ASG: Quartz
Boat slot:
ASP: 170
ASG: 129
Process tube: Quartz
Outer tube: Quartz
Inner tube: Quartz
CLF3 dry clean: Yes
PUMP: EDWARDS/EBARA
System controller: WAVES
Powered down.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是用於半導體器件生長的高科技擴散爐及配件。這種設備能夠快速、準確地將半導體層增長到基板上,以滿足現代電子制造的嚴格需求。TEL ALPHA-8SE裝有一個先進的容器,裝有先進的輻射加熱裝置。這種容器允許容器內氣體的均勻加熱,並極大地有助於為半導體創造最佳的生長環境。這一特征對於砷化的、磷化的等III-V材料的生長特別有用。除了先進的容器外,TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE實現了獨特的、全自動的控制系統。該裝置提供精確的溫度控制以及工藝時間、氣流和其他條件的控制。此外,該機器還具有控制生長環境的溫度和組成的高級功能,允許對其進行全面定制,以滿足任何特定生長過程的要求。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E還附有觸摸屏界面,便於操作和數據采集。這允許用戶在增長過程中準確監控和控制增長環境。圖形顯示通過在增長過程中提供各種參數的直觀表示,進一步增強了工具的可用性。總之,ALPHA8 SE是一種極其先進的擴散爐及其附屬資產.其先進的容器和全面的自動化能力允許精確控制增長環境,確保半導體的最佳增長。其觸摸屏界面和圖形顯示進一步增強了用戶體驗,使操作員可以在成長過程中輕松監控和控制模型。
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