二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9047511 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE
已售出
ID: 9047511
AVAFGN Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是制造半導體集成電路過程中使用的最先進的擴散爐及其相關配件。TEL ALPHA-8SE是一種最高工藝溫度為1000 °C的單晶片間歇式擴散爐,具有低駐波等離子體增強CVD(化學氣相沈積)工藝,具有優異的均勻性和器件性能。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE是一種封閉的圓柱形合金室,可在三種不同的模式下操作-熱氧化、熱硝化和化學氣相沈積(CVD)。每種模式由包括氣壓、溫度和流量在內的一組綜合參數控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE有一個獨特的特性,稱為雙角-循環過程控制(Dual Angle-Cycle Process Control),允許使用者在整個過程週期內在不同角度間互換,允許更均勻的晶片層性能。ALPHA-8SE既利用低溫鉬敏感器,又利用高溫石英敏感器。Molybdenum sicceptor用於短過程循環,設計為極好的均勻性和低背景失真。高溫石英敏感器用於較長的工藝周期,可以安全地適應高達1000 °C的溫度。ALPHA-8 SE配備了多項安全功能,包括防止過熱的自動關閉系統、檢測水蒸氣的濕度傳感器和檢測低過程壓力的壓力傳感器。它還配備了先進的顆粒過濾和洗滌系統,以實現卓越的環保。為保證最佳性能和可靠性,ALPHA 8 SE配備了包括兩個局部化工藝溫度控制器、兩個低溫鼓風機控制器、兩個鼓風機速度控制器在內的綜合溫度控制器系統。這允許用戶獨立監控和控制爐子的不同區域。該爐還配備了兩個鹵素燈,提供卓越的均勻性和優異的顆粒性能。TEL ALPHA 8 SE是針對半導體處理需求的綜合解決方案,為用戶提供卓越的性能、可靠性和安全性。其獨特的特性和配件為用戶提供卓越的熱處理和CVD性能,確保出色的設備性能和統一性。
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