二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9099381 待售
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已售出
ID: 9099381
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TEOS
(1) Heater element Model: Mid-Temp VMM-56-002 5zone/500-1000
Process Condition: LP
Maximum Operating Temperature: 1000°C
N2 Load Lock: Yes
Wafer Type: 300 SEMI STD-Notch
Qty. of Production Wafers: 117 slots Ladder
Boat Operation: (2) Boat Type / (2) Boat Operation
Software Version: 2.06
Furnace:
(1) Loading Area Light: White (LED)
Force Air Cooling system: None
Side Maintenance: None
(1) O2 Density control: NGK SH-304 STANDARD
(1) N2 Boat shower wafer cooling: installed
(1) Furnace Temperature Controller: M560A
Wafer/Carrier Handling:
Carrier Type: FOUP (25) slots (STD)
Carrier Stage Capacity: 16
(1) WTU Type: 1+4 Edge Grip
WTU alignment: None
WTU Teaching method: None
Gas Distribution:
IGS Maker / Type: AREA
IGS MFC Maker / Type: AREA (Gas Panel)
IGS Press Transducer Maker / Type: NAGANO
Exhaust:
Vacuum Gage - 2 torr: None
(1) Vacuum Gage - 10 torr: MYKROLIS CMLH-31-150S06
Vacuum Gage - 100 torr- None
(2) Vacuum Gage - 1000 torr: MYKROLIS CMLH-11-150S06
(1) Main Valve: MKS-99C1274
(1) Pump Maker/Model: EDWARDS IH-1800
Low vacuum valve: None
(1) Trap: Disk Trap
(1) Vacuum Pressure Controller: N2-ballast
Reactor:
(2) Process Tube (LP): Outer: ID448xH1360, Inner: Straight H1340
(2) Outer/Inner Tube Material (LP): Quartz
Inner Tube Type (AP): None
(1) Inner T/C: Outer Tube interior wall type
(2) Boat Material/Type: Quartz 117 slots Ladder (8mm pitch)
(1) Boat Rotation: installed
(1) Pedestal Materiel/Type: Quartz Sand blast OD300 H350 1fins
(1) Auto Shutter: installed
Power Distribution:
Voltage, 3 Phase: 208VAC
Voltage, Single Phase: 120VAC
Frequency: 60Hz
User Interface:
(2) Operation Panel: Front/rear Gas Box and Operation Panel Installed
(2) Indicator Type: Superset
Operation software type: Linux
(4) Gas Leak Detector Material/Type: Riken TEOS/CLF3
Dry pumps: not included.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是先進半導體工藝的領先擴散爐及配件。TEL ALPHA-303I是一種多用途、高速、高質量的擴散爐,具有可靠的性能、可調的溫度控制和廣泛的功能,可實現最大的工藝重復性。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I是一種具有石英側壁和455L熱區容量的單室爐。這個擴散爐有一個低熱質量的輻射加熱設備，能夠快速的溫度變化。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I亦設有三區烘烤系統，以最佳控制製程室內的溫度均勻性。Alpha 303i還包括一個垂直提升樣品裝載單元，使晶圓船能夠自動轉移到加工室。晶圓船可以自動升高到兩個不同的溫度，以優化冷卻過程。此外，工藝室的溫度可以根據工藝的需要進行預置。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I機配備了全方位的配件，包括閉環冷卻工具。這種資產通過利用傳感器來測量和控制工藝氣體的溫度，有助於保持工藝室內所需的溫度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i還采用了一系列過程控制措施，如集成的Auto配方發生器，用於快速、可靠的配方和先進的參數設置。它還能夠對各種工藝參數進行過程監測，包括溫度、流速、壓力和總氣流。ALPHA 303 I旨在實現極快和精確的熱循環，運行之間的恢復時間較短。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I模型具有高精度的溫度控制，具有極好的重復性和重復性。TEL Alpha 303i還具有一系列安全功能,包括水冷真空泵,該真空泵能夠快速將任何工藝氣體或空氣從工藝室中排出。這樣可確保操作過程中的最大安全性。TEL ALPHA-303 I設備還配備了備用氣體供應系統，以確保工藝室始終充分供應適當的工藝氣體。ALPHA-303 I是一種可靠且用途廣泛的擴散爐及配件，為先進的半導體工藝提供卓越的性能和可重復性。其安全特性的範圍加上先進的溫度控制措施，使其成為一個強大而安全的解決方案，以滿足各種工藝需求。
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