二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #143861 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN是為工業市場設計的擴散爐及配件。設計用於高溫基板上的加熱、處理和蒸發部件。它的特殊性是能夠用alpha pellistor調節它的溫度，從而使過程參數，例如蒸發壓力。TEL Alpha 805DN是一種多腔渦流爐，裝有直徑200毫米和直徑300毫米的蒸發室。熱區配有兩個獨立的石墨加熱器，最高溫度能力高達1750 °C，由變頻驅動器驅動。作為一個安全的特點，用CVDO-TCP溫度控制系統監測爐溫。雙室TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN實現了廣泛的過程控制，如多離子源和層控，具有豐富的過程參數，如劑量率、準時斜坡和準時熱。此外,還提供了一種可編程增長率、過程時間和蒸發時間的自動固體控制。Alpha 805DN還具有其他先進的特點，如雙前鋒在不破壞真空的情況下進行源交換，一個氣體噴射器單元供應指定的氣體，以及一個可移動的石英窗口來監測爐膛性能。此外，各種傳感器，如高溫計作為標準設備附著，可根據客戶的應用增加多種可選配件，包括單、雙石英管、遙控、真空計單元等。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN是一種強大可靠的擴散爐。它的靈活性和工藝參數範圍為用戶提供了生產高質量、精密元件的最佳條件。TEL Alpha 805DN還提供卓越的安全性,使其成為工業應用的理想工具。